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Micro - Electro - Mechanical 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\u5e94\u7528\n\n\u7269\u8054\u7f51\u7684\u5e94\u7528\u9886\u57df\u6d89\u53ca\u5230\u65b9\u65b9\u9762\u9762\uff0c\u5728\u5de5\u4e1a\u3001\u519c\u4e1a\u3001\u73af\u5883\u3001\u4ea4\u901a\u3001\u7269\u6d41\u3001\u5b89\u4fdd\u7b49\u57fa\u7840\u8bbe\u65bd\u9886\u57df\u7684\u5e94\u7528\uff0c\u6709\u6548\u7684\u63a8\u52a8\u4e86\u8fd9\u4e9b\u65b9\u9762\u7684\u667a\u80fd\u5316\u53d1\u5c55\uff0c\u4f7f\u5f97\u6709\u9650\u7684\u8d44\u6e90\u66f4\u52a0\u5408\u7406\u7684\u4f7f\u7528\u5206\u914d\uff0c\u4ece\u800c\u63d0\u9ad8\u4e86\u884c\u4e1a\u6548\u7387\u3001\u6548\u76ca\u3002 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